ASML 首款先进封装光刻机 TWINSCAN XT:260 完成出货 生产效能提升 3 倍

资讯 » 科技头条 2025-10-16

环球网

10月16日消息，据TechPowerUp报道，全球半导体设备领域的领军企业阿斯麦（ASML）于当地时间15日发布2025年第三季度财报，并同步宣布实现首款服务于先进封装的光刻机产品——TWINSCAN XT:260的出货，为半导体产业在3D集成领域的发展注入新动能。


据了解，此次推出的TWINSCAN XT:260光刻机，采用i线光源作为图案化设备核心技术支撑，分辨率达到400纳米。该设备在技术上实现关键突破，通过对相场与剂量的优化改进，生产效率大幅提升，达到此前同类机台的4倍。在340毫焦剂量的作业条件下，这款光刻机每小时可处理270片晶圆，能够有效满足客户在3D集成领域的高效生产需求。（纯钧）



免责声明：本网信息来自于互联网，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点。其内容真实性、完整性不作任何保证或承诺。由用户投稿，经过编辑审核收录，不代表头部财经观点和立场。
证券投资市场有风险，投资需谨慎！请勿添加文章的手机号码、公众号等信息，谨防上当受骗！如若本网有任何内容侵犯您的权益，请及时联系我们。



相关文章